GERİ DÖN
Ders Öğretim Planı
| Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|
| ESM627 | İNCE FİLM TEKNOLOJİLERİ | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 1 | 6,00 |
Dersin Seviyesi
Yüksek Lisans
Dersin Sunulduğu Dil
Dersin Amacı
İnce film teknolojileri ve endüstriyel uygulama alanlarını bilir. Kristal yapılar ve kusurları ile birlikte çekirdekleşme ve büyüme mekanizmalarını öğrenir. İnce film process tekniklerinin (CVD, MOCVD, MBE, PLD, Lazer-MBE, sputtering, ve buharlaştırma teknikleri) kullanım alanlarını sıralayabilir.
Dersi Veren Öğretim GörevlisiGörevlileri
Prof. Dr. Nihat TUĞLUOĞLU
Öğrenme Çıktıları
| 1 | Kaplama teknolojisini öğrenir. |
| 2 | Yüzey malzemelerinin önemini bilir. |
| 3 | Teknolojilerin kullanım sahalarına yönelik seçim yapar. |
| 4 | Modifikasyon ve İnce Film Kaplama Teknolojilerini öğrenir |
| 5 | Yüzey özelliklerini geliştirici teknikleri analiz eder. |
Öğrenim Türü
Birinci Öğretim
Dersin Ön Koşulu Olan Dersler
Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar
Yok
Dersin İçeriği
İnce film teknolojileri ve endüstriyel uygulama alanları, kristal yapılar ve kusurları, çekirdekleşme ve büyüme mekanizmaları, epitaksi gibi temel konular hakkında ince film process teknikleri CVD, MOCVD, MBE, PLD, Lazer-MBE, sputtering, ve buharlaştırma teknikleri.
Haftalık Ayrıntılı Ders İçeriği
| Hafta | Teorik | Uygulama | Laboratuvar |
|---|---|---|---|
| 1 | İnce film teknolojilerine giriş | ||
| 2 | İnce film teknolojileri uygulamaları | ||
| 3 | Kristal yapılar ve ince filmler | ||
| 4 | Vakum ve vakum teknolojileri | ||
| 5 | Kimyasal Buhar Biriktirme Prosesleri ve Sınıflandırılması | ||
| 6 | Fiziksel Buhar Biriktirme Yöntemleri ve Sınıflandırılması | ||
| 7 | Termal Buharlaştırma Yöntemleri | ||
| 8 | Spin kaplama Yöntemleri | ||
| 9 | SILAR Yöntemleri | ||
| 10 | Saçtırma (RF and DC)Yöntemleri | ||
| 11 | Damlatma Yöntemleri | ||
| 12 | Kaplama Öncesi Yüzey Hazırlama İşlemleri | ||
| 13 | Modern Yüzey Geliştirme Yöntemleri (yüzey sertliği, mikro yapı, X-Ray, TEM, SEM …). | ||
| 14 | Endüstriyel Uygulama Örneklerine Bakış |
Ders Kitabı Malzemesi Önerilen Kaynaklar
1 Donald Smith, 2007, Thin-Film Deposition: Principles and Practice, Prentice Hall 2. Electronic Thin Film Science for Electrical Engineers and Materials Scientists, by K-N Tu, J. W. Mayer and L. C. Feldman, 1992. 3. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure, by M. Ohring, 2002.
Planlanan Öğrenme Aktiviteleri ve Metodları
Değerlendirme
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 60 |
| Ev Ödevi | 1 | 40 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
| Final Sınavı | 1 | 100 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
| Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 | |
Staj Durumu
İş Yükü Hesaplaması
| Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
|---|---|---|---|
| Ara Sınav | 1 | 2 | 2 |
| Final Sınavı | 1 | 2 | 2 |
| Bütünleme Sınavı | 1 | 2 | 2 |
| Derse Katılım | 14 | 3 | 42 |
| Tartışma | 1 | 1 | 1 |
| Bireysel Çalışma | 14 | 5 | 70 |
| Ödev Problemleri için Bireysel Çalışma | 2 | 5 | 10 |
| Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma | 7 | 3 | 21 |
| Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 7 | 3 | 21 |
| Ev Ödevi | 2 | 5 | 10 |
| Toplam İş Yükü (saat) | 181 | ||
Program ve Öğrenme Çıktıları İlişkisi
| ÖÇ 1 |
| ÖÇ 2 |
| ÖÇ 3 |
| ÖÇ 4 |
| ÖÇ 5 |
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek