Dersin Kodu | Dersin Adı | Dersin Türü | Yıl | Yarıyıl | AKTS |
---|---|---|---|---|---|
ESM627 | İNCE FİLM TEKNOLOJİLERİ | Seçmeli Ders Grubu | 1 | 1 | 6,00 |
Yüksek Lisans
İnce film teknolojileri ve endüstriyel uygulama alanlarını bilir. Kristal yapılar ve kusurları ile birlikte çekirdekleşme ve büyüme mekanizmalarını öğrenir. İnce film process tekniklerinin (CVD, MOCVD, MBE, PLD, Lazer-MBE, sputtering, ve buharlaştırma teknikleri) kullanım alanlarını sıralayabilir.
Prof. Dr. Nihat TUĞLUOĞLU
1 | Kaplama teknolojisini öğrenir. |
2 | Yüzey malzemelerinin önemini bilir. |
3 | Teknolojilerin kullanım sahalarına yönelik seçim yapar. |
4 | Modifikasyon ve İnce Film Kaplama Teknolojilerini öğrenir |
5 | Yüzey özelliklerini geliştirici teknikleri analiz eder. |
Birinci Öğretim
Yok
İnce film teknolojileri ve endüstriyel uygulama alanları, kristal yapılar ve kusurları, çekirdekleşme ve büyüme mekanizmaları, epitaksi gibi temel konular hakkında ince film process teknikleri CVD, MOCVD, MBE, PLD, Lazer-MBE, sputtering, ve buharlaştırma teknikleri.
Hafta | Teorik | Uygulama | Laboratuvar |
---|---|---|---|
1 | İnce film teknolojilerine giriş | ||
2 | İnce film teknolojileri uygulamaları | ||
3 | Kristal yapılar ve ince filmler | ||
4 | Vakum ve vakum teknolojileri | ||
5 | Kimyasal Buhar Biriktirme Prosesleri ve Sınıflandırılması | ||
6 | Fiziksel Buhar Biriktirme Yöntemleri ve Sınıflandırılması | ||
7 | Termal Buharlaştırma Yöntemleri | ||
8 | Spin kaplama Yöntemleri | ||
9 | SILAR Yöntemleri | ||
10 | Saçtırma (RF and DC)Yöntemleri | ||
11 | Damlatma Yöntemleri | ||
12 | Kaplama Öncesi Yüzey Hazırlama İşlemleri | ||
13 | Modern Yüzey Geliştirme Yöntemleri (yüzey sertliği, mikro yapı, X-Ray, TEM, SEM …). | ||
14 | Endüstriyel Uygulama Örneklerine Bakış |
1 Donald Smith, 2007, Thin-Film Deposition: Principles and Practice, Prentice Hall 2. Electronic Thin Film Science for Electrical Engineers and Materials Scientists, by K-N Tu, J. W. Mayer and L. C. Feldman, 1992. 3. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure, by M. Ohring, 2002.
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | Adet | Değer |
---|---|---|
Ara Sınav | 1 | 60 |
Ev Ödevi | 1 | 40 |
Toplam | 100 | |
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | Adet | Değer |
Final Sınavı | 1 | 100 |
Toplam | 100 | |
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri | 40 | |
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri | 60 |
Etkinlikler | Sayısı | Süresi (saat) | Toplam İş Yükü (saat) |
---|---|---|---|
Ara Sınav | 1 | 2 | 2 |
Final Sınavı | 1 | 2 | 2 |
Bütünleme Sınavı | 1 | 2 | 2 |
Derse Katılım | 14 | 3 | 42 |
Tartışma | 1 | 1 | 1 |
Bireysel Çalışma | 14 | 5 | 70 |
Ödev Problemleri için Bireysel Çalışma | 2 | 5 | 10 |
Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma | 7 | 3 | 21 |
Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma | 7 | 3 | 21 |
Ev Ödevi | 2 | 5 | 10 |
Toplam İş Yükü (saat) | 181 |
ÖÇ 1 |
ÖÇ 2 |
ÖÇ 3 |
ÖÇ 4 |
ÖÇ 5 |