GERİ DÖN

Ders Öğretim Planı


Dersin Kodu Dersin Adı Dersin Türü Yıl Yarıyıl AKTS
ESM627 İNCE FİLM TEKNOLOJİLERİ Seçmeli Ders Grubu 1 2 6,00

Yüksek Lisans



İnce film teknolojileri ve endüstriyel uygulama alanlarını bilir. Kristal yapılar ve kusurları ile birlikte çekirdekleşme ve büyüme mekanizmalarını öğrenir. İnce film process tekniklerinin (CVD, MOCVD, MBE, PLD, Lazer-MBE, sputtering, ve buharlaştırma teknikleri) kullanım alanlarını sıralayabilir.


Prof. Dr. Nihat TUĞLUOĞLU


1 Kaplama teknolojisini öğrenir.
2 Yüzey malzemelerinin önemini bilir.
3 Teknolojilerin kullanım sahalarına yönelik seçim yapar.
4 Modifikasyon ve İnce Film Kaplama Teknolojilerini öğrenir
5 Yüzey özelliklerini geliştirici teknikleri analiz eder.

Birinci Öğretim



Yok


İnce film teknolojileri ve endüstriyel uygulama alanları, kristal yapılar ve kusurları, çekirdekleşme ve büyüme mekanizmaları, epitaksi gibi temel konular hakkında ince film process teknikleri CVD, MOCVD, MBE, PLD, Lazer-MBE, sputtering, ve buharlaştırma teknikleri.


Hafta Teorik Uygulama Laboratuvar
1 İnce film teknolojilerine giriş
2 İnce film teknolojileri uygulamaları
3 Kristal yapılar ve ince filmler
4 Vakum ve vakum teknolojileri
5 Kimyasal Buhar Biriktirme Prosesleri ve Sınıflandırılması
6 Fiziksel Buhar Biriktirme Yöntemleri ve Sınıflandırılması
7 Termal Buharlaştırma Yöntemleri
8 Spin kaplama Yöntemleri
9 SILAR Yöntemleri
10 Saçtırma (RF and DC)Yöntemleri
11 Damlatma Yöntemleri
12 Kaplama Öncesi Yüzey Hazırlama İşlemleri
13 Modern Yüzey Geliştirme Yöntemleri (yüzey sertliği, mikro yapı, X-Ray, TEM, SEM …).
14 Endüstriyel Uygulama Örneklerine Bakış

1 Donald Smith, 2007, Thin-Film Deposition: Principles and Practice, Prentice Hall 2. Electronic Thin Film Science for Electrical Engineers and Materials Scientists, by K-N Tu, J. W. Mayer and L. C. Feldman, 1992. 3. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure, by M. Ohring, 2002.



Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri Adet Değer
Ara Sınav 1 60
Ev Ödevi 1 40
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri Adet Değer
Final Sınavı 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri 40
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri 60


Etkinlikler Sayısı Süresi (saat) Toplam İş Yükü (saat)
Ara Sınav 1 2 2
Final Sınavı 1 2 2
Bütünleme Sınavı 1 2 2
Derse Katılım 14 3 42
Tartışma 1 1 1
Bireysel Çalışma 14 5 70
Ödev Problemleri için Bireysel Çalışma 2 5 10
Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma 7 3 21
Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma 7 3 21
Ev Ödevi 2 5 10
Toplam İş Yükü (saat) 181

ÖÇ 1
ÖÇ 2
ÖÇ 3
ÖÇ 4
ÖÇ 5
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek