GERİ DÖN

Ders Öğretim Planı


Dersin Kodu Dersin Adı Dersin Türü Yıl Yarıyıl AKTS
MM539 İNCE FİLM ÜRETİM YÖNTEMLERİ Seçmeli Ders Grubu 1 2 6,00

Yüksek Lisans


Türkçe


Dersin amacı, İnce filmin tanımını yapmak, üretim yöntemlerini anlatmak, bu yöntemlerin avantaj ve dez avantajlarını karşılaştırmak, ince film inceleme yöntemleri ve ince filmlerin kullanım alanları hakkında fikir vermektir.


Doç. Dr. Sıtkı AKTAŞ


1 Öğrenciler ince film hakkında genel bilgiye sahip olacaktır. İnce film üretimi için yapılması gereken ön hazırlıkları öğrenmiş olacaktır.
2 Öğrenciler İnce film üretim yöntemlerini tanıyacak, yöntemleri birbiriyle kıyaslayabilecek ve kendi çalışmaları için gerekli yöntemi seçebileceklerdir.
3 Öğrenciler Üretilen ince filmlerin karakteristik özelliklerini inceleme yöntemlerini tanıyacaktır
4 Öğrenci ince filmlerin elektrik, manyetik ve optik özelliklerini açıklayabilir.
5 Öğrenciler İnce filmin kullanım alanları bilgisine sahip olacaktır.

Birinci Öğretim


Yok


Yok


İnce filmin tanımı, Vakum teknikleri, İnce film elde etme yöntemleri: Buharlaştırma (Elektron Beam, Termal), Sıçratma. Sol-gel, Elektrokimyasal yöntemler. İnce Filmlerin özellikleri ve uygulama alanları


Hafta Teorik Uygulama Laboratuvar
1 İnce filmlere genel bakış ve genel kullanım alanları
2 Vakum teknikleri
3 Vakum pompaları (mekanik pompa, turbo pompa, turbo moleküler pompa, crygonenic pompa, difüzyon pompası..)
4 İnce film üretim teknikleri, Fiziksel buharlaştırma
5 Termal buharlaştırma
6 Elektron demeti ile buharlaştırma
7 Manyetik Sıçratma Yöntemi
8 Ara Sınav
9 Sol-Jel Yöntemi
10 Döndürme ile Kaplama (Spin Coating)
11 Elektrokimyasal yöntem ile kaplama
12 İnce filmlerin optiksel, elektriksel ve manyetik özellikleri
13 İnce filmlerin uygulama alanları
14 İnce filmlerin karakterizayon teknikleri
15 İnce filmlerin karakterizayon teknikleri
16 final

Handbook of Thin-Film Deposition Processes and Techniques, Krishna Seshan Materials Science of Thin Films, Milton Ohring Advance Deposition Techniques for Thin Film and Coating



Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri Adet Değer
Ara Sınav 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri Adet Değer
Final Sınavı 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri 40
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri 60

Yok


Etkinlikler Sayısı Süresi (saat) Toplam İş Yükü (saat)
Ara Sınav 1 2 2
Final Sınavı 1 2 2
Bütünleme Sınavı 1 2 2
Derse Katılım 14 3 42
Makale Kritik Etme 14 4 56
Bireysel Çalışma 14 3 42
Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma 1 14 14
Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma 1 14 14
Toplam İş Yükü (saat) 174

ÖÇ 1
ÖÇ 2
ÖÇ 3
ÖÇ 4
ÖÇ 5
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek