GERİ DÖN

Ders Öğretim Planı


Dersin Kodu Dersin Adı Dersin Türü Yıl Yarıyıl AKTS
FIZ-6350 X-IŞINLARI VE UYGULAMALARI Seçmeli Ders Grubu 1 1 6,00

Doktora


Türkçe


Bu dersin amacı, X-ışınlarının nasıl üretildiğini, x-ışınlarının maddeyle nasıl etkileştiğini, x-ışınlarıyla yapısal ve manyetik karakterizasyonun nasıl yapıldığını öğretmek


Prof. Dr. Birol ERTUĞRAL


1 Temel kavramlar
2 X-Işınları ve optik geometri
3 Kalitatif ve Kantitatif analiz
4 Faz Diyagram tanımlaması, Kristal Büyüklüğü, Kristal Mükemmelliği, Kristal Yönlenmesi
5 X-Işınları Yansıması (XRR)


Yok


Yok


X-ışınlarının üretilmesi, x-ışınlarının maddeyle etkileşmesi, x-ışınları kullanılarak yapısal ve manyetik karakterizasyonun belirlenmesi


Hafta Teorik Uygulama Laboratuvar
1 Temel Kavramlar
2 X-Işınları
3 Kalitatif ve Kantitatif analiz, Faz Diyagram tanımlaması
4 Kristal Büyüklüğü, Kristal Mükemmelliği, Kristal Yönlenmesi
5 X-Işınları Yansıması (XRR)
6 Yüksek çözünürlüklü X-ışını kırınımı (HRXRD)
7 Kırınım Görüntüleme ve Kusur Haritalama
8 Ara sınav
9 X-Işını Soğurma Teknikleri
10 X-Işını Emisyon Teknikleri
11 X-Işını Temelli Analiz Teknikleri
12 Mikroskopi
13 Litografi
14 Topografi
15 Tomografi
16 Dönem sonu sınavı

-Handbook of X-Ray Spectrometry: Methods and Techniques (Practical Spectroscopy, Vol 14) [Hardcover] Rene E. Van Grieken (Author), R. Van Grieken(Editor), Andrzej A. Markowicz (Editor) -X-Işınları Difraksiyonu (Cullity) -X-ray Metrology in Semiconductor Manufacturing, (D. Keith Bowen, Brian K. Tanner) 2006 by Taylor a Francis Group, LLC



Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri Adet Değer
Ara Sınav 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri Adet Değer
Final Sınavı 1 100
Toplam 100
Yarıyıl (Yıl) İçi Etkinlikleri 40
Yarıyıl (Yıl) Sonu Etkinlikleri 60

Yok


Etkinlikler Sayısı Süresi (saat) Toplam İş Yükü (saat)
Ara Sınav 1 2 2
Final Sınavı 1 2 2
Derse Katılım 14 3 42
Rapor Sunma 4 2 8
Ara Sınav İçin Bireysel Çalışma 8 6 48
Final Sınavı içiin Bireysel Çalışma 8 8 64
Ev Ödevi 4 2 8
Toplam İş Yükü (saat) 174

PÇ 1 PÇ 2 PÇ 3 PÇ 4 PÇ 5 PÇ 6 PÇ 7 PÇ 8 PÇ 9
ÖÇ 1 4 2 3 3 4 3 4 3 3
ÖÇ 2
ÖÇ 3
ÖÇ 4
ÖÇ 5
* Katkı Düzeyi : 1 Çok düşük 2 Düşük 3 Orta 4 Yüksek 5 Çok yüksek